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J-GLOBAL ID：200903096242606453
M×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉村 暁秀 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996515934
Publication number (International publication number)：1998508952
Application date： Oct. 17, 1995
Publication date： Sep. 02, 1998
Summary：
【要約】薄膜アクチュエーテッドミラー(M及びNは正の整数)からなるアレイは光投射システムに用いられ、M×N個のトランジスタのアレイ及びM×N個の接続端子のアレイを有する基板を備える能動マトリックスと、各々が、第2バイアス電極用の第2薄膜電極、電気的に変形可能な下部薄膜部、信号電極用の中間薄膜電極、電気的に変形可能な上部薄膜部、ミラーのみならず第1バイアス電極の両方の働きをも果たす第1薄膜電極を備えるM×N個の駆動構造体のアレイとを含み、変形可能な両薄膜部は中間薄膜電極によって分離され、第1薄膜電極は上部薄膜部の上に、第2薄膜電極は下部薄膜部の底面に各々設けられ、中間薄膜電極は各接続端子を通じて各トランジスタに電気的に接続され、各駆動構造体の近位端は能動マトリックスの上面に付着されてバイモフ構造になった薄膜アクチュエーテッドミラーのアレイを形成する。
Claim (excerpt)：
光投射システムに用いられ、各々がバイモフ構造を有するM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラー(M及びNは正の整数)からなるアレイであって、 上面を有し、M×N個のトランジスタからなるアレイ及びM×N個の接続端子からなるアレイを有する基板を備える能動マトリックスと、 各々が、近位端及び遠位端を有し、第2バイアス電極としての機能をする第2薄膜電極、上面及び底面を有する電気的に変形可能な下部薄膜部、信号電極としての機能をする中間薄膜電極、上面及び底面を有する電気的に変形可能な上部薄膜部及びミラーだけでなく第1バイアス電極としての働きをも果たす第1薄膜電極を備えるM×N個の駆動構造体のアレイとを含み、 前記電気的に変形可能な上部、下部薄膜部は前記中間薄膜電極によって分離され、前記第1薄膜電極は前記上部薄膜部の上面に設けられ、前記第2薄膜電極は前記下部薄膜部の底面に設けられ、前記中間薄膜電極は前記各接続端子を通じて前記各トランジスタに電気的に接続され、前記各駆動構造体の近位端は前記能動マトリックスの上面に付着されることによって前記バイモフ構造になった薄膜アクチュエーテッドミラーを形成することを特徴とするM×N個の薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。
IPC (5)：
G02B 26/08
, G02B 5/10
, G02B 7/188
, G09F 9/37
, H04N 5/74
G02B 26/08 E
, G02B 5/10 B
, G09F 9/37 A
, H04N 5/74 B
, G02B 7/18 702
