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J-GLOBAL ID：200903096267315046

圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振子、および電子機器

Inventor：
宮澤 弘

About 宮澤 弘


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (2)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004270189
Publication number (International publication number)：2006086368
Application date： Sep. 16, 2004
Publication date： Mar. 30, 2006
Summary：
【課題】 良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。【解決手段】 本発明に係る圧電素子1は, 基板2と、 基板2の上方に形成されたバッファ層5と、 バッファ層5の上方に形成された、ペロブスカイト型構造を有する圧電体層6と、を含み、 バッファ層5は、導電性を有し,c軸(001)に優先配向しているビスマス系層状ペロブスカイト構造化合物からなる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板と、 前記基板の上方に形成されたバッファ層と、 前記バッファ層の上方に形成された、ペロブスカイト型構造を有する圧電体層と、を含み、 前記バッファ層は、導電性を有し、c軸(001)に優先配向しているビスマス系層状ペロブスカイト構造化合物からなる、圧電素子。
IPC (6)：
H01L 41/22 ,  F04B 9/00 ,  H02N 2/00 ,  H03B 5/30 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187
FI (8)：
H01L41/22 Z ,  F04B9/00 B ,  H02N2/00 B ,  H03B5/30 A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101D
F-Term (15)：
3H075AA00 ,  3H075BB04 ,  3H075BB30 ,  3H075CC32 ,  3H075DA02 ,  3H075DA05 ,  3H075DA06 ,  3H075DA11 ,  3H075DB02 ,  3H075EE11 ,  5J079AA08 ,  5J079BA43 ,  5J079HA06 ,  5J079HA22 ,  5J079KA08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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