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J-GLOBAL ID：200903096267433600

湿度センサ

Inventor： 千葉 悟志 ,  柳澤 利昭 ,  池尻 昌久
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993165753
Publication number (International publication number)：1995020080
Application date： Jul. 05, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：

【要約】【構成】 片面の一部をエッチングしたシリコン基板の表面に酸化膜を形成し、エッチングしていない面の酸化膜の上に櫛歯電極を形成し、その櫛歯電極部分を覆うように感湿膜を形成する。その裏面のエッチング面にヒーター電極を形成し、ヒーター電極の導通部分を残し、エッチング面を陽極接合で密閉し、湿度センサとする。【効果】 工程が単純で、大量生産に適したプロセスが使えるため、量産性が良く、信頼性も高く、低電力のヒーターをもった湿度センサが得られる。

Claim (excerpt)：

最表面の絶縁を確保した基板上に一対の電極および電極形状にあった感湿膜を形成し、電極および感湿膜を形成した基板の裏面にヒーター電極が形成されていることを特徴とする湿度センサ。