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J-GLOBAL ID:200903096273925905

Ti-W系非蒸発型ゲッター

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小川 順三 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991323245
Publication number (International publication number):1993159697
Application date: Dec. 06, 1991
Publication date: Jun. 25, 1993
Summary:
【要約】【目的】 バインダーを使用することなく製造できる、高密度で、しかもガス吸着能力の優れるTi-W系非蒸発型ゲッターを提供すること。【構成】 粒径43μm以下のTi粉末1〜30wt%と、粒径 104〜43μmのW粉末99〜70wt%との加圧成型体からなるTi-W系非蒸発型ゲッター、および前記加圧成型体を焼成してなるTi-W系非蒸発型ゲッターである。
Claim (excerpt):
粒径43μm以下のTi 粉末1〜30wt%と、粒径 104〜43μmのW粉末99〜70wt%との加圧成形体からなるTi-W系非蒸発型ゲッター。
IPC (3):
H01J 7/18 ,  C22C 27/04 101 ,  A47J 41/02 102

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