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J-GLOBAL ID：200903096275840095

インクジェットヘッド用圧電素子の作製方法

Inventor： 肥田 勝春 ,  近藤 正雄 ,  栗原 和明
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997181490
Publication number (International publication number)：1999020177
Application date： Jul. 07, 1997
Publication date： Jan. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 圧電素子を用いたインクジェットプリンタのヘッドに関し、小型、高精彩化を図ることができる圧電素子を用いたインクジェットヘッド用圧電素子の作製方法を提供することを目的とする。【解決手段】 圧電素子を形成するセラミックグリーンシートに帯状の電極ペーストを塗布すると共に、該電極ペーストの両側の前記グリーンシートに該電極ペーストに略平行して、所定間隔おきに連続した複数の穴を形成する工程と、前記グリーンシートを焼成し、該焼成により前記連続した穴の配列方向に該穴を横切るクラックを焼成体に生じさせる工程と、を含むことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

圧電素子を形成するセラミックグリーンシートに帯状の電極ペーストを塗布すると共に、該電極ペーストの両側の前記グリーンシートに該電極ペーストに略平行して、所定間隔おきに連続した複数の穴を形成する工程と、前記グリーンシートを焼成し、該焼成により前記連続した穴の配列方向に該穴を横切るクラックを焼成体に生じさせる工程と、を含むことを特徴とするインクジェットヘッド用圧電素子の作製方法。

IPC (4)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/22

FI (3)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/22 Z