Pat

J-GLOBAL ID：200903096285248402

半導体基板用搬送ボックス

Inventor： 藤井 敏昭 ,  堀田 修 ,  大山 幸次 ,  中山 俊哉 ,  崎谷 文雄 ,  金原 峰雄 ,  横山 新 ,  廣瀬 全孝
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所 ,  大日商事株式会社 ,  ローツェ株式会社
Agent (1)： 吉嶺 桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998067625
Publication number (International publication number)：1999217119
Application date： Mar. 04, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】実用上効果的な微粒子及びガス状有害成分の除去機能を有する半導体基板用搬送ボックスを提供する。【解決手段】半導体を出入できる開閉機構を有する半導体基板用搬送ボックス21において、該ボックス21には、ボックス内を清浄化するための光照射による光電子及び光触媒を用いる気体清浄化装置A-2、又は、該装置に電力を供給するバッテリー搭載充電機能付き電源装置を一体化した気体清浄化ユニットを有することを特徴とする半導体基板用搬送ボックスとしたものであり、前記気体清浄化装置には、光照射のための紫外線源27と、光電子放出のための光電子放出材29及び光触媒28を備え、電源装置を一体化した場合は、電源装置における発熱を気体清浄化装置に伝えるための放熱体を備えるのが良く、また、前記搬送ボックスは、材料を合成樹脂製とすることができる。

Claim (excerpt)：

半導体基板を出入できる開閉機構を有する半導体基板用搬送ボックスにおいて、該ボックスには、ボックス内を清浄化するための光照射による光電子及び/又は光触媒を用いる気体清浄化装置を一体化した気体清浄化ユニットを有することを特徴とする半導体基板用搬送ボックス。

IPC (2)：

B65G 49/00 ,  B65G 49/07

FI (2)：

B65G 49/00 A ,  B65G 49/07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• ストッカ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-062544   Applicant：株式会社荏原総合研究所
• 特開平1-266864
  
• 特開平4-179146