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J-GLOBAL ID：200903096285343685
MR特性測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 光男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994145592
Publication number (International publication number)：1995334823
Application date： Jun. 03, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：
【要約】【目的】 スライダ加工及びジンバル・プレートへの取り付けを必要とすることなく、しかもMR素子のMR特性、周波数特性等の電磁変換特性を高い信頼性で測定できる装置を提供する。【構成】 MR特性測定装置は、MR/INDヘッドに設けられたMR素子の電磁変換特性を評価する装置であって、AFM/MFM12と、上端面に磁性基準マーク26を有する磁場印加媒体14と、第1位置決め装置16と、第2位置決め装置18とを備えている。第1位置決め装置は、載置面24を備え、X方向及びY方向をそれぞれMR素子のトラック幅方向及び厚さ方向とする3次元座標系のZ方向にMR素子の中心軸を一致させてMR/INDヘッドを載置面に載せ、X、Y及びZ方向に自在に移動してMR/INDヘッドを位置決めする。第2位置決め装置は、磁場印加媒体の磁場方向をZ方向に一致させて保持しつつ、X、Y及びZ方向に自在に移動して磁場印加媒体を位置決めする。AFM/MFMは、面の凹凸情報及び磁気情報を得る原子間力及び磁気力兼用顕微鏡である。
Claim (excerpt)：
MR/INDヘッド内のMR素子の電磁変換特性を評価する装置であって、X方向及びY方向をそれぞれMR素子のトラック幅方向及び厚さ方向とする3次元座標系のZ方向にMR素子の中心軸を向けてMR/INDヘッドを載せ、X方向、Y方向及びZ方向に自在に移動して位置決めする第1位置決め装置と、位置決め用の磁性基準マークを上端面に有し、かつ可変な磁場強度で磁場を形成する磁場印加媒体と、磁場方向をZ方向に向けて保持しつつ磁場印加媒体をX方向、Y方向及びZ方向に自在に移動して位置決めする第2位置決め装置と、探針により面を走査して面の凹凸情報及び磁気情報を得る原子間力及び磁気力兼用顕微鏡とを備え、磁場印加媒体の基準マークを基準に第1位置決め装置及び第2位置決め装置を移動させつつ探針を作動させて、上から下に、探針と、磁場印加媒体の磁場方向と、MR素子の中心軸とを一致させるように位置決めし、次いで磁場印加媒体の磁場強度を変えてMR素子の電磁変換特性を測定するようにしたことを特徴とするMR特性測定装置。
IPC (4)：
G11B 5/455
, G11B 5/127
, G11B 5/39
, H01L 21/66
