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J-GLOBAL ID：200903096295307628

金属超微粒子の製造装置および金属超微粒子の製造方法

Inventor： 田中 努 ,  中村 孝則
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 原 謙三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001044220
Publication number (International publication number)：2002241810
Application date： Feb. 20, 2001
Publication date： Aug. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】 アーク放電を利用して金属超微粒子を生成する際に、アーク放電が安定するまでの期間でも、生成した金属超微粒子が放電用電極の先端に付着することを効果的に抑制し得る金属超微粒子の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 たとえばトーチ12を移動させる位置変化機構15を設けることにより、アーク放電開始後、放電用電極13とターゲット5との間隔(電極間隔)を徐々に拡大する。これにより、生成した金属超微粒子が放電用電極13の先端に付着することが抑制される。あるいは、ターゲットとして、幅方向よりも高さ方向が大きくなる形状のものを用いてもよい。この方法でも、アーク放電開始直後からアーク放電が安定化するまでの間、電極間隔を徐々に拡大することができる。

Claim (excerpt)：

放電用電極と、該放電用電極に近接した位置に設けられ、金属母材を保持する保持電極と、これらに接続されるアーク電源とを備えており、アーク電源より上記放電用電極および保持電極の間に電圧を印加することによってアーク放電を発生させる金属超微粒子の製造装置において、さらに、上記放電用電極および保持電極の少なくとも一方の位置を変化させて、放電用電極および金属母材の間の間隔を徐々に拡大させる位置変化手段と、少なくとも上記位置変化手段の動作を、上記アーク放電の開始直後からアーク放電が安定するまでの間、アーク放電の状態変化に対応して制御する制御手段とを備えていることを特徴とする金属超微粒子の製造装置。

F-Term (3)：

4K017AA02 ,  4K017CA08 ,  4K017EA13