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J-GLOBAL ID：200903096313500732

プローブ装置

Inventor： 山口 正雄
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 井上 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992328919
Publication number (International publication number)：1994151531
Application date： Nov. 13, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【目的】 被検査体の電気的測定を短時間で行うこと。【構成】 被検査体の電極パッドに、プローブカード2に配列された複数のプローブ針21をそれぞれ接触させて電気的測定を行うプローブ装置において、プローブカード2側に2個のICチップ分のプローブ針21(21A、21B)と、リレーRY1〜RY14とを設け、テストヘッド3側からのICチップ1個分の信号路31とプローブ針群21A、21Bとを前記リレーRY1〜RY14により接続し、プローブカード2に配置したCPU51により、ROM52に書き込まれたプログラムに従ってリレーRY1〜RY14を駆動制御し、テストヘッド3内に、2個のICよりの情報を順次取り込む。

Claim (excerpt)：

テスタに接続された信号路を、プローブカードに配列された接触子に夫々電気的に接続すると共に、前記接触子を被検査体の電極パッドに接触させて電気的測定を行うプローブ装置において、前記接触子の数よりも少ない信号路と接触子との接続を切り替えるスイッチ部と、このスイッチ部の切り替えを制御するスイッチ制御部とを設けてなることを特徴とするプローブ装置。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/28