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J-GLOBAL ID:200903096313851047

光学部材検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 松岡 修平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995189844
Publication number (International publication number):1997015166
Application date: Jul. 03, 1995
Publication date: Jan. 17, 1997
Summary:
【要約】【目的】 客観的な基準に基づいて光学部材の良否を判断することができる光学部材検査装置およびその方法の提供を目的とする。【構成】 光源10から発した光束を拡散透過率が異なる周辺領域と中心領域とを有する拡散手段20により拡散させて被検レンズ1を透過させ、この被検レンズをCCDカメラ30により撮影する。画像処理装置40は、画像出力に基づいて被検レンズの欠陥を判定し、被検レンズ1の情報をモニタディスプレイ50に表示する。光源10と拡散手段20とは、照明ユニット120として一体に構成されており、移動手段60によって撮影手段の光軸方向Xに沿って移動可能であり、移動により散乱性の欠陥と吸収性の欠陥とに対する抽出力を調整することができる。
Claim (excerpt):
光源と、拡散透過率の高い周辺領域と拡散透過率の低い中心領域とを有し、前記光源から発した光束を拡散させる拡散手段と、該拡散手段を透過して被検物である光学部材を透過した光束を受光する位置に設けられ、前記被検物を撮影する撮影手段と、該撮影手段から出力される画像信号に基づいて前記被検物の欠陥を判定する判定手段と、前記拡散手段を前記撮影手段の光軸方向に移動させる移動手段とを備えることを特徴とする光学部材検査装置。

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