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J-GLOBAL ID：200903096314883970

4-ヒドロキシスチレンとアルキル置換-4-ヒドロキシスチレンとの共重合体

Inventor： リチャード バイキャリー ,  ダクラス ジェイ ゴードン ,  ウィリアム ディ ヒンズバーグ ザ サード ,  デニス アール マッキャン ,  カールトン ジー ウイルソン
Applicant, Patent owner： ヘキスト・セラニーズ・コーポレーション ,  インターナショナル ビジネス マシーンズ コーポレーション
Agent (1)： 斉藤 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994194485
Publication number (International publication number)：1995070241
Application date： Oct. 20, 1989
Publication date： Mar. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ホトレジスト用の結合剤等として有用な新規スチレン系共重合体を提供する。【構成】 (a)置換基の無い4-ヒドロキシスチレン単量体と、(b)式:但し、A、B、C及びDは独立してH又はC1乃至C3アルキルであり而してA、B、C及びDの少なくとも1がC1乃至C3アルキルである置換4-ヒドロキシスチレン単量体との共重合体であって;該共重合体が約800乃至約100,000の分子量を有しており;且つ単量体(a)の単量体(b)に対するモル比が約3:1乃至約1:3の範囲である置換基の無い4-ヒドロキシスチレン単量体と置換4-ヒドロキシスチレンとの共重合体。

Claim (excerpt)：

(a)置換基の無い4-ヒドロキシスチレン単量体と、(b)式:【化1】但し、A、B、C及びDは独立してH又はC1乃至C3アルキルであり而してA、B、C及びDの少なくとも1がC1乃至C3アルキルである置換4-ヒドロキシスチレン単量体との共重合体であって;該共重合体が約800乃至約100,000の分子量を有しており;且つ単量体(a)の単量体(b)に対するモル比が約3:1乃至約1:3の範囲である置換基の無い4-ヒドロキシスチレン単量体と置換4-ヒドロキシスチレンとの共重合体。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平2-154266