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J-GLOBAL ID：200903096371177534

熱処理装置

Inventor： 大加瀬 亘
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン相模株式会社
Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991307198
Publication number (International publication number)：1993121342
Application date： Oct. 28, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 面状の被処理体の全面を均一な温度で熱処理することができる熱処理装置を提供することにある。【構成】 面状の被処理体の処理面に対向するよう配置された面状発熱源と、前記面状の被処理体の処理面とは反対側の裏面に対向する位置に配置された、当該面状の被処理体の外周縁を超えて伸びる大きさの補助加熱源とを備えてなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

面状の被処理体の処理面に対向するよう配置された面状発熱源と、前記面状の被処理体の処理面とは反対側の裏面に対向する位置に配置された、当該面状の被処理体の外周縁を超えて伸びる大きさの補助加熱源とを備えてなることを特徴とする熱処理装置。

IPC (2)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/31