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J-GLOBAL ID：200903096374919639

光導波路の製造方法

Inventor： 佐貫 稔 ,  木練 透 ,  成宮 義和 ,  中山 正俊
Applicant, Patent owner： ティーディーケイ株式会社
Agent (1)： 石井 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000081161
Publication number (International publication number)：2001264566
Application date： Mar. 23, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 寸法精度が良好で、しかも安価な光導波路を提供する。【解決手段】 光導波路のコアの母型パターンを表面に有する成形用型を用いてガラス素材をプレス成形することにより前記コアを形成する工程を有する。第1の態様では、前記成形用型がガラス母材および離型層を有し、前記離型層がダイヤモンド・ライク・カーボンから構成され、前記母型パターン形成面が前記離型層で構成されている。第2の態様では、前記成形用型がガラス母材および緩衝層を有し、前記緩衝層が無機材料から構成され、前記母型パターンの少なくとも側壁面が前記緩衝層で構成され、前記母型パターンの少なくとも一部に、幅および深さがいずれも3〜15μmの範囲内である領域が存在し、少なくともこの領域において、前記母型パターンの幅方向における前記緩衝層の厚さが10μm超100μm以下である。

Claim (excerpt)：

光導波路のコアの母型パターンを表面に有する成形用型を用いてガラス素材をプレス成形することにより前記コアを形成する工程を有し、前記成形用型がガラス母材および離型層を有し、前記離型層がダイヤモンド・ライク・カーボンから構成され、前記母型パターン形成面が前記離型層で構成されている光導波路の製造方法。

F-Term (6)：

2H047KA04 ,  2H047LA18 ,  2H047PA26 ,  2H047QA07 ,  2H047RA08 ,  2H047TA43