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J-GLOBAL ID：200903096379446232

プラズマCVD製膜装置及びそのセルフクリーニング方法

Inventor： 鶴我 薫典 ,  山越 英男 ,  高野 暁己 ,  坂本 仁志
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000242846
Publication number (International publication number)：2002057110
Application date： Aug. 10, 2000
Publication date： Feb. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】 装置構成部品の壁面に付着した無効な膜やパーティクルを効率良く除去することができるクリーニング機能を備えたプラズマCVD製膜装置及びそのセルフクリーニング方法を提供する。【解決手段】 壁面に付着した異物を除去するためのクリーニング機能を有するプラズマCVD製膜装置であって、エッチングガスを製膜室内に供給するエッチングガス供給手段14と、エッチングガスの存在下で壁面の近傍に局所的な放電プラズマを生じさせるクリーニング電極13,23,29と、クリーニング電極により放電プラズマが生成されている間に製膜室内を排気する排気手段11,20を有する。

Claim (excerpt)：

壁面に付着した異物を除去するためのクリーニング機能を有するプラズマCVD製膜装置であって、エッチングガスを製膜室内に供給するエッチングガス供給手段と、前記エッチングガスの存在下で前記壁面の近傍に局所的な放電プラズマを生じさせるクリーニング電極と、前記クリーニング電極により放電プラズマが生成されている間に製膜室内を排気する排気手段と、を具備することを特徴とするプラズマCVD製膜装置。

IPC (3)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/302 N

F-Term (28)：

4K030DA06 ,  4K030FA01 ,  5F004AA15 ,  5F004BA05 ,  5F004BA06 ,  5F004BB11 ,  5F004BB13 ,  5F004BD04 ,  5F004CA09 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA04 ,  5F004DA17 ,  5F004DA22 ,  5F004DA23 ,  5F004DA24 ,  5F004DB01 ,  5F045AA08 ,  5F045AB03 ,  5F045AB04 ,  5F045AC01 ,  5F045DP03 ,  5F045EB06 ,  5F045EH06 ,  5F045EH13 ,  5F045EH20 ,  5F045HA13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平1-140724