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J-GLOBAL ID：200903096388626936

干渉計

Inventor： 藤井 雄作 ,  鎌谷 修
Applicant, Patent owner： 藤井 雄作
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993048687
Publication number (International publication number)：1994241717
Application date： Feb. 15, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 測定範囲および分解能を改善することが可能な干渉計を提供することを目的とする。【構成】 光源にスペクトル線幅の広いインコヒーレント光源を用い、参照光を複数の異なる光路長を有する光から構成する手段、および、参照光および/または信号光の光路長を変化させる手段とを有することを特徴とする干渉計とすることにより、信号光の光路長が大きな場合でも、参照光と干渉させることが可能な干渉計を提供することが可能となる。この干渉計を用い、参照光路の可動鏡を掃引することで、長距離に渡る反射光分布の高分解能な測定を行うことが可能な射光分布計測手法を提供することが可能となる。

Claim (excerpt)：

参照光を複数の異なる光路長を有する光から構成する手段、および、参照光および/または信号光の光路長を変化させる手段とを有することを特徴とする、干渉計