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J-GLOBAL ID：200903096417007876

スライシング用研磨液組成物

Inventor： 小林 亮 ,  清水 博昭
Applicant, Patent owner： 電気化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999296188
Publication number (International publication number)：2001115148
Application date： Oct. 19, 1999
Publication date： Apr. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】研磨材の分散性を高め、それによりスライシング加工の際の凝集塊の生成を防止することができ、その結果、スライシング加工において厚み、そり等のバラツキを低下させ、加工時間を延長できるスライシング用研磨液組成物を提供する。【解決手段】加工液にポリアルキレングリコールビニルエーテルと無水マレイン酸を主成分とする共重合体を配合する。これにより、研磨材粒子の沈降を防ぐと共に、生成する微細粒子による凝集をも抑制しハードケーキ生成を防止する。またこの凝集防止の効果で研磨材粒子はブレード又はワイヤーに均一に付着し、スライシング加工を安定化させるため、装置中に研磨材が堆積することが防止され、更にはスライシング液組成物の寿命を延ばすことが出来る。

Claim (excerpt)：

加工液と研磨材からなり、加工液に一般式(1)で示されるポリアルキレングリコールビニルエーテルと無水マレイン酸からなる共重合体を含有することを特徴とするスライシング用研磨液組成物。【化1】(Aは炭素数2〜4のアルキレン基、アルキレンオキサイド基付加モル数nは3以上、R1は水素又は炭素数1〜20の有機残基)

IPC (4)：

C09K 3/14 550 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304 611 ,  B24B 27/06

FI (4)：

C09K 3/14 550 Z ,  B28D 5/04 C ,  H01L 21/304 611 Z ,  B24B 27/06 Z

F-Term (17)：

3C058AA01 ,  3C058AA05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA18 ,  3C058CA01 ,  3C058CA04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA01 ,  3C069BA06 ,  3C069CA04 ,  3C069EA02 ,  3C069EA03