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J-GLOBAL ID：200903096422554834

膜厚測定方法と膜厚測定装置

Inventor： 坂田 陽 ,  小島 弘 ,  渡辺 幸穂
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Agent (1)： 鈴木 晴敏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993322942
Publication number (International publication number)：1995181016
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】 広範囲な波長領域を有する光源から膜厚と依存性のある透過率を有する被測定物固有の任意の波長領域の光線を透過させ、各種の材質の膜厚を自動的に、かつ高精度に測定し得る膜厚測定方法と膜厚測定装置を提供する。【構成】 広範囲な波長領域を有する黒体炉のような光源2の光線から膜厚に依存性のある透過率を有する波長領域の光線を光学フィルタ3を介して選択的に透過させ、被測定物5および膜厚既知の基準測定物7に照射し、検出器6,8で光電変換し、両者の検出信号を比較して減算器10,信号処理装置11,厚さ指示器12等からなる膜厚検出部9により膜厚を測定表示する。

Claim (excerpt)：

薄膜からなる被測定物の膜厚を測定する方法であって、広範囲な波長領域の光線を放射する光源からの放射光線の内、膜厚と相関関係のある透過率を示す前記被測定物固有の波長領域の光線のみを光学フィルタを介して透過させ、透過光線を前記被測定物に照射し、その膜厚に相関して減衰された透過減衰光量に基づいて被測定物の膜厚を求めることを特徴とする膜厚測定方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-226610
  
• 特開昭61-278705
  
• 特開平3-226610
  
• 特開昭61-278705