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J-GLOBAL ID：200903096442107575
ドライフイルムレジスト
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
前田 純博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992305337
Publication number (International publication number)：1994161096
Application date： Nov. 16, 1992
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：
【要約】【目的】 従来のフォトレジスト層の上に保護フイルムを設ける工程を省略し、かつ産業廃棄物の軽減に寄与するドライフイルムレジスト(DFR)を提供する。【構成】 透明ベースフイルムの一つの表面にフォトレジスト層を塗設し、かつベースフイルムの他の表面にフォトレジスト層に対して離型性を奏する離型層を積層した複合フイルムからなり、該複合フイルムをロール状に巻いてフォトレジスト層を離型層で保護するようにしたことを特徴とするドライフイルムレジスト。
Claim (excerpt)：
透明ベースフイルムの一つの表面にフォトレジスト層を塗設し、かつベースフイルムの他の表面にフォトレジスト層に対して離型性を奏する離型層を積層した複合フイルムからなり、該複合フイルムをロール状に巻いてフォトレジスト層を離型層で保護するようにしたことを特徴とするドライフイルムレジスト。
IPC (4)：
G03F 7/004 512
, B32B 27/00
, B32B 27/36
, H05K 3/00
