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J-GLOBAL ID:200903096442683738
感放射線性樹脂組成物
Inventor:
,
,
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993217744
Publication number (International publication number):1994317902
Application date: Sep. 01, 1993
Publication date: Nov. 15, 1994
Summary:
【要約】【目的】紫外線、X線、電子線に対して高感度であり且つ高解像性であり、安定して微細なパターンを得ることができる感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】(a)酸により分解する置換基を有する化合物、(b)1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル、(c)水溶液の状態での温度25°Cにおける酸解離定数pKaが5.2以下の塩基性化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物である。
Claim (excerpt):
(a)酸により分解する置換基を有する化合物、(b)1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステル、(c)水溶液の状態での温度25°Cにおける酸解離定数pKaが5.2以下である塩基性化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (7):
G03F 7/022
, C08K 5/18
, C08K 5/3417
, C08K 5/3495
, C08K 5/42
, C08L 61/14 LMR
, H01L 21/30
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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特開平3-249654
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特開平4-080758
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感放射線性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-073169
Applicant:日本合成ゴム株式会社
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放射感受性の組成物及び方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-304792
Applicant:シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
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ポジ型感放射線性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-244794
Applicant:日本合成ゴム株式会社
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特開昭63-149640
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特公昭62-028457
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