Pat

J-GLOBAL ID：200903096444045372

露光装置及び露光方法

Inventor： 有馬 光雄
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998094878
Publication number (International publication number)：1999296922
Application date： Apr. 07, 1998
Publication date： Oct. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】 構成簡素にして、記録用レーザ光のスポット系のばらつきや照射位置の位置ずれを高い精度で補正し、精度の良い潜像を形成することが可能な露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】 光源2から出射されるレーザ光の光強度及び照射位置を補正する音響光学素子3と、この音響光学素子3を透過したレーザ光の一部を検出し、このレーザ光の光強度及び照射位置が所望のものとなるように音響光学素子を制御するフィードバック系とを備えるように露光装置1を構成する。

Claim (excerpt)：

光源から出射されたレーザ光を感光材層に照射し、この感光材層に所定のパターンの潜像を形成する露光装置において、上記レーザ光の光強度及び照射位置を補正する音響光学素子と、上記音響光学素子を透過したレーザ光の一部を検出し、このレーザ光の光強度及び照射位置が所望のものとなるように上記音響光学素子を制御するフィードバック系とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (3)：

G11B 7/26 531 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/10

FI (3)：

G11B 7/26 531 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/10 Z