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J-GLOBAL ID：200903096455771474

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 西村 幸生 ,  銅木 克次 ,  山本 將史 ,  梶田 徹 ,  下川 努
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000204223
Publication number (International publication number)：2002023371
Application date： Jul. 05, 2000
Publication date： Jan. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】 放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れるのみならず、微細加工時に現像欠陥を生じることがなく、半導体素子を高い歩留りで製造することができる新規な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記式(1)で表される複素環構造の少なくとも1種を側鎖に有する樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシル基または炭素数2〜7の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシカルボニル基を示す。〕

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で表される複素環構造の少なくとも1種を側鎖に有する樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔式(1)において、R1 は水素原子、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシル基または炭素数2〜7の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルコキシカルボニル基を示す。〕

IPC (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/60 ,  C08F 32/08 ,  C08K 5/00 ,  C08L101/06 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/60 ,  C08F 32/08 ,  C08K 5/00 ,  C08L101/06 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (44)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BF02 ,  2H025BF11 ,  2H025BG00 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  4J002BG131 ,  4J002BK001 ,  4J002EB116 ,  4J002EQ016 ,  4J002EU046 ,  4J002EV296 ,  4J002EW176 ,  4J002FD156 ,  4J002FD200 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J100AL08Q ,  4J100AM21P ,  4J100AR09P ,  4J100BA02P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA40Q ,  4J100BC07Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC68P ,  4J100BC79P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100JA38