Pat

J-GLOBAL ID：200903096461814363

加水分解性シラン化合物およびその製造方法

Inventor： 岡庭 求樹 ,  橋口 裕一 ,  佐藤 穂積
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 渡辺 喜平 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999146367
Publication number (International publication number)：2000336093
Application date： May. 26, 1999
Publication date： Dec. 05, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 アルカリ可溶性感光性レジスト等へ応用可能な分子内にイオウ原子を含み、分子末端にヒドロキシ基等を有する加水分解性シラン化合物及びその製造方法。【解決手段】 式(1)または(2)で表される加水分解性シラン化合物等である。[式1中のX1〜X3は互いに独立である水素または一価の基で少なくとも一つは加水分解性基、R1は単結合またはニ価の有機基、R2〜R4は互いに独立である水素または一価の有機基、Yは水素または一価の基である。][式2中のX1〜X3、R1、およびYは式1と同様であり、R5は水素または一価の有機基である。]

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)で表される加水分解性シラン化合物。【化1】[一般式(1)中のX1〜X3は、互いに独立である水素または一価の基であって、少なくとも一つは加水分解性基であり、R1は単結合またはニ価の有機基であり、R2〜R4は、互いに独立である水素または一価の基であり、Yは水素または一価の基である。]

IPC (3)：

C07F 7/18 ,  C08F 30/08 ,  C08G 77/28

FI (3)：

C07F 7/18 Q ,  C08F 30/08 ,  C08G 77/28

F-Term (42)：

4H049VN01 ,  4H049VP01 ,  4H049VQ49 ,  4H049VQ51 ,  4H049VR20 ,  4H049VR21 ,  4H049VR40 ,  4H049VR43 ,  4H049VS48 ,  4H049VS51 ,  4H049VT40 ,  4H049VT43 ,  4H049VT44 ,  4H049VT45 ,  4H049VU20 ,  4H049VW02 ,  4H049VW33 ,  4J035BA01 ,  4J035BA11 ,  4J035CA26N ,  4J035CA261 ,  4J035EA01 ,  4J035EB02 ,  4J035LA05 ,  4J035LB16 ,  4J100AF10P ,  4J100AL08P ,  4J100AP01P ,  4J100AP02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA12P ,  4J100BA15P ,  4J100BA16P ,  4J100BA22P ,  4J100BA41P ,  4J100BA51P ,  4J100BA55P ,  4J100BA56P ,  4J100BA77P ,  4J100BC43P ,  4J100CA01 ,  4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭63-313793