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J-GLOBAL ID：200903096468278629

ウエハの洗浄方法

Inventor： 浅田 和己
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996050506
Publication number (International publication number)：1997246224
Application date： Mar. 07, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ウエハの表面を損傷させることなく、金属や有機物の従来はブラシによってしか取り除くことなく出来なかった付着物をウエハを傷つけることなく取り除くことのできる洗浄方法を提供すること。【解決手段】 シャワーノズル装置23をウエハ21に対しfの方向に往復動させながらそのシャワーノズル部26の小孔26aから洗浄液をウエハ21の表面に噴出させる。

Claim (excerpt)：

ウエハの表面及び/又は裏面をシャワーノズルにより洗浄することを特徴とするウエハの洗浄方法。

IPC (4)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B01J 19/10 ,  B08B 3/02

FI (4)：

H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 341 B ,  B01J 19/10 ,  B08B 3/02 C