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J-GLOBAL ID：200903096473702889
表面形状測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994114253
Publication number (International publication number)：1995301516
Application date： Apr. 29, 1994
Publication date： Nov. 14, 1995
Summary：
【要約】【目的】 小型で駆動部質量の小さい構成で、高速制御が可能な表面形状測定装置を提供することを目的とする。【構成】 バネ部材2の自由端に試料3に対向して探針1を配設し、固定端を駆動素子4で保持する。駆動素子4は制御器8の出力により制御される。投光器7は、光源,光学部材により構成しバネ部材2の自由端と固定端に光を投射するよう構成し、前記バネ部材2で反射した2つの光をそれぞれ光検出素子10と光検出素子6で受光するよう配置する。光検出素子10,6の出力は、差分器9に入力し、差分器9の出力は制御器8に入力する。駆動素子5は試料3を保持し3次元的に微動する。
Claim (excerpt)：
試料面との間に作用する力を検出する探針と、この力を変位に変換するバネ部材と、前記試料面と前記探針を3次元的に相対運動させる駆動素子と、前記バネ部材の変位に基づき前記探針と前記試料面とを一定の位置に保つ制御器とを有し、前記試料表面を観察する表面形状測定装置において、前記バネ部材の自由端と固定端とに同時に光を投射する投光器と、前記バネ部材の自由端と固定端で反射した反射光の位置ズレを同時に検出する光検出素子と、この出力を差分する差分器とを備えたことを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (3)：
G01B 11/30 102
, G01N 37/00
, H01J 37/28
