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J-GLOBAL ID：200903096485512880

アクチュエータ

Inventor： 片山 晶雅 ,  佐藤 明生 ,  日比野 真吾
Applicant, Patent owner： 東海ゴム工業株式会社
Agent (1)： 西藤 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999178589
Publication number (International publication number)：2001007419
Application date： Jun. 24, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】全体が柔軟で、低電圧であっても、大きな変位を得ることができ、電磁波(特に可視光)や流体の流れの向き等を大きく走査することのできる、安価で経済的なアクチュエータを提供する。【解決手段】可撓性基板15の両面に圧電結晶薄膜16が形成され、この圧電結晶薄膜16に電極層20が形成された圧電素子21を備え、上記圧電素子21の圧電定数が0.1〜20pC/N、曲げ剛性が1.0×10-2〜1.0×103N・mmに設定されている。

Claim (excerpt)：

可撓性基板の片面もしくは両面に圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極が取り付けられた圧電素子を備え、上記圧電素子の圧電定数が0.1〜20pC/N、曲げ剛性が1.0×10-2〜1.0×103 N・mmに設定されていることを特徴とするアクチュエータ。

IPC (3)：

H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H02N 2/00

FI (4)：

H01L 41/18 101 A ,  H02N 2/00 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 Z