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J-GLOBAL ID:200903096494916960

欠陥検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991206043
Publication number (International publication number):1993045301
Application date: Aug. 16, 1991
Publication date: Feb. 23, 1993
Summary:
【要約】【構成】 ラインCCDカメラ1により、移動する検査対象物の画像を読み取ったアナログ画像データを、2値化して2値化画像データから検査対象物の欠陥を測定する欠陥検査装置であって、2値化画像データの変化点アドレスを得てランレングス符号とするランレングス符号化手段5と、ランレングス符号の連結性処理を行い、非検査領域と検査領域を判別する判別手段と、検査領域と判別されたランレングス符号について連結性処理を行い欠陥を測定する手段とを備えている欠陥検査装置【効果】検査領域と非検査領域を判別しながら欠陥の測定が可能であり、複数個の印刷パターンに含まれるピンホール検査で利用できる。
Claim (excerpt):
ラインCCDカメラにより、移動する検査対象物の画像を読み取ったアナログ画像データを、2値化して2値化画像データから該検査対象物の欠陥を測定する欠陥検査装置において、前記2値化画像データの変化点アドレスを得てランレングス符号とするランレングス符号化手段と、前記ランレングス符号の連結性処理を行い、非検査領域と検査領域を判別する判別手段と、前記判別手段で検査領域と判別されたランレングス符号について連結性処理を行い欠陥を測定する手段とを備えていることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (5):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/89 ,  G06F 15/62 410 ,  G06F 15/70 330

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