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J-GLOBAL ID：200903096505734419
走査型電子顕微鏡
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995072770
Publication number (International publication number)：1996273575
Application date： Mar. 30, 1995
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【構成】試料1に光束を照射する照射系と、試料表面から反射される反射光を検出する検出器10と、検出された反射光の位置から試料表面の高さを算出する演算部からなる試料高さ測定器を設け、その測定結果に従って、焦点合わせレンズ制御器15により焦点合わせレンズ3を制御することで、電子ビームの焦点を試料表面と一致させる。ここで、演算部では、試料移動中の観察位置到達時間より測定値有効時間までさかのぼった測定結果を平均化しており、試料表面の光学的外乱要因に影響されない焦点合わせを行う。【効果】試料表面の光学的外乱要因の影響を除去し、表面にパターン等を有するウェーハ等の試料で安定的に、高速かつ高精度に焦点合わせができる。
Claim (excerpt)：
電子ビームの走査により試料像を得る電子レンズ系と、前記試料を移動するための試料駆動機構系と、光束を前記試料に照射する手段と、前記光束の前記試料の上面での反射光を検出する検出手段とを備えた走査型電子顕微鏡において、前記試料駆動系により試料が観察位置に移動する時間の内、焦点位置での高さが観察位置での高さを推測するに適切な試料位置領域に達した時間から観察位置に達するまでの測定値有効時間に、前記試料の上下への移動距離または高さを計測する高さ方向測定手段と、該測定結果を用いて前記電子レンズ系の焦点合せを行うレンズ制御手段とを設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (3)：
H01J 37/21
, H01J 37/20
, H01J 37/244
H01J 37/21 B
, H01J 37/20 D
, H01J 37/244
