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J-GLOBAL ID:200903096514953026
大気圧グロ-放電プラズマ用電極
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
田中 宏 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992211419
Publication number (International publication number):1994096718
Application date: Aug. 07, 1992
Publication date: Apr. 08, 1994
Summary:
【要約】【目的】本発明は大気圧プラズマを発生するために使用する大気圧グロ-放電プラズマ用電極に関し、特に電極間における空気をプラズマ発生用ガスと容易に置換でき、且つ安定なグロ-放電を行うようにしたプラズマ発生用電極に関する。【構成】 表面にセラミック溶射層を有する金属製パイプの多数を小間隔をもって互いに平行に並列に配設したことよりなる大気圧グロ-放電プラズマ用電極である。
Claim (excerpt):
表面にセラミック溶射層を有する金属製パイプの多数を小間隔をもって互いに平行に並列に配設したことよりなる大気圧グロ-放電プラズマ用電極。
IPC (2):
Patent cited by the Patent:
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