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J-GLOBAL ID:200903096525470957

光デイスクにおける紫外線硬化型樹脂の塗布方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 高橋 勝利
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991281312
Publication number (International publication number):1993120740
Application date: Oct. 28, 1991
Publication date: May. 18, 1993
Summary:
【要約】【構成】 ダウンフローの気流中で光ディスクにハードコート剤または保護コート剤の如き紫外線硬化性樹脂をスピンコート法によって塗布する場合に、圧縮気体を基板裏面側より基板側面に沿って基板上方に吹き出しながら塗布する。さらに圧縮気体の吹き出し量を光ディスクの回転速度が増加するに従って減少させていく。【効果】 ダウンフローの気流中で光ディスクに紫外線硬化型樹脂をスピンコート法によって塗布する場合に、基板裏面側より基板側面に沿って基板上方に圧縮気体を吹き出しながら塗布するので、光ディスク上の余分な紫外線硬化型樹脂が基板側面に沿ってだれてくるのを防止できる。また、圧縮気体の吹き出し量を光ディスクの回転速度が増加するに従って減少させていくので、上方へ飛散する樹脂を光ディスク回転による円心力とダウンフローの気流により光ディスクの下方へ飛散させていき、光ディスクの上面に樹脂が飛散することを防止できる。
Claim (excerpt):
ダウンフローの気流中で光ディスクに紫外線硬化型樹脂をスピンコート法によって塗布する方法において、基板側面に沿って基板上方に圧縮気体を吹き出しながら塗布することを特徴とする光ディスクにおける紫外線硬化型樹脂の塗布方法。

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