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J-GLOBAL ID：200903096526299461
X線回折装置及びX線回折測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
横川 邦明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998360284
Publication number (International publication number)：2000180388
Application date： Dec. 18, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 結晶粒の大きい試料及び結晶粒の小さい試料の両方に対して適正な条件でX線回折測定を行うことができるX線回折装置を提供する。【解決手段】 X線要素支持装置11は、平行X線ビームを形成するソーラスリット12と細径のX線ビームを形成するコリメータとを交換して支持できる。X線検出装置21は、CCD検出器9によって線状に取り込んだX線に関してその線状範囲の各位置ごとにX線強度を測定する位置分解機能と、線状に取り込んだX線をその線状領域の全部又は一部分についての1つのX線強度としてまとめて平均化して測定する強度平均化機能とを選択して実現できる。ソーラスリット12とコリメータとを選択し、X線検出装置21の機能を選択することにより、結晶粒の大小に拘わらず適正な条件でX線回折測定を行うことができる。
Claim (excerpt)：
試料に照射するためのX線を放射するX線源と、そのX線源と試料との間に配置されるX線ビーム成形要素を支持するX線要素支持手段と、試料で発生する回折X線を線状に取り込む線状X線検出要素を含むX線検出手段と、そのX線検出手段と試料との間に着脱可能に配置されるソーラスリットと、そのソーラスリットをX線回折平面内で測定のために回転させるソーラスリット回転駆動手段とを有し、前記X線要素支持手段は、前記X線源からのX線を面積の広い平行ビームに成形する平行ビーム成形要素及び前記X線源からのX線を面積の狭い細径ビームに成形する細径ビーム成形要素を交換してX線光路上に支持でき、そして前記X線検出手段は、前記線状X線検出要素によって線状に取り込んだX線に関してその線状領域の各位置ごとにX線強度を測定する位置分解機能と、前記線状X線検出要素によって線状に取り込んだX線をその線状領域の全部又は一部分についての1つのX線強度としてまとめて平均化して測定する強度平均化機能とを選択して実現することを特徴とするX線回折装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (17)：
2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001DA08
, 2G001FA25
, 2G001GA13
, 2G001JA01
, 2G001JA05
, 2G001JA11
, 2G001KA07
, 2G001LA02
, 2G001LA06
, 2G001SA01
, 2G001SA02
