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J-GLOBAL ID：200903096543812750

光学装置

Inventor： 尼子 淳 ,  三浦 弘綱 ,  曽根原 富雄
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991325993
Publication number (International publication number)：1993157513
Application date： Dec. 10, 1991
Publication date： Jun. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 物体形状あるいはその変化を計測するための汎用的な光学装置を提供する。【構成】 コヒーレント光源と、干渉計と、前記干渉計で得られた干渉縞を入力する撮像素子と、前記干渉縞に対応する位相分布を表示するための液晶素子と、前記撮像素子と前記液晶素子を接続する回路を備えて成ることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

物体形状あるいは物体形状の変化を計測する技術に関し、コヒーレント光源と、干渉計と、前記干渉計で得られた干渉縞を入力する撮像素子と、参照光路と物体光路を分離し、かつ参照光の偏光方位と物体光の偏光方位を互いに直交させるための複屈折板と、前記干渉縞に対応する位相分布を表示するための液晶素子と、前記液晶素子のアドレス手段と、前記撮像素子と前記液晶素子とを接続する回路を備えて成ることを特徴とする光学装置。

IPC (4)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G02B 5/32 ,  G02F 1/13 505

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-021207
  
• 特開平3-245006
  
• 特表平1-502616