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J-GLOBAL ID：200903096582780911

電子ビームプロービング装置の二次電子エネルギー分析器

Inventor： 安部 貴之 ,  中沢 和広 ,  伊藤 昭夫
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991307966
Publication number (International publication number)：1993144401
Application date： Nov. 22, 1991
Publication date： Jun. 11, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は電子ビームプロービング装置の二次電子エネルギー分析器に関し、給電経路の信頼性の向上を実現することを目的とする。【構成】 給電用電線36を、電子ビームプロービング装置の下面から挿入されて組込まれる筒体31の壁32の内部に設けて構成する。接触ピン37を、上記給電用電源と接続させて上記筒体31の上端面33に設けて構成する。上記筒体31の壁32をその厚さ方向に貫通するスルーホール35内に、銀ペースト(導電性ペースト)39が充填してあり、この銀ペースト(導電性ペースト)39が、上記給電用電線36と上記筒体内にグリッドと共に取付けられた電極リング25とを導通接続するよう構成する。

Claim (excerpt)：

電子ビームプロービング装置本体(2)の下面から挿入されてレンズ(4,5)の内側に組込まれる筒状の二次電子エネルギー分析器(30)において、給電用電線(36)を、筒体(31)の壁(32)の内部に設けると共に、接触ピン(37)を、上記給電用電線と接続して上記筒体(31)の上端面(33)に設け、且つ上記筒体の壁をその厚さ方向に貫通するスルーホール(35)内に、該給電用電線と、上記筒体内にグリッドと共に取付けられた電極リング(25)とを導通接続する接続部材(39,50)を設けてなる構成としたことを特徴とする電子ビームプロービング装置の二次電子エネルギー分析器。

IPC (4)：

H01J 37/244 ,  G01T 1/28 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66