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J-GLOBAL ID：200903096583038194

エレクトレット素子作製方法およびその作製装置

Inventor： 宮崎 芳郎
Applicant, Patent owner： 矢崎総業株式会社
Agent (1)： 瀧野 秀雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997270982
Publication number (International publication number)：1999111565
Application date： Oct. 03, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 エレクトレット素子作製において、表面電位安定化処理の際にエレクトレット材料への不純物の付着を防ぎ素子性能を向上し、かつ素子性能のばらつきを押さえ歩留まりの向上を図る製造方法を提供する。【解決手段】 エレクトレット材料を帯電する前工程として静電気発生手段にてイオンをエレクトレット材料の表面に照射する工程と、加熱しながらコロナ放電によってエレクトレット材料表面を帯電させる工程と、コロナ帯電の際にエレクトレット材料を移動させる工程と、静電気発生装置にてイオンを照射してエレクトレット材料表面の過剰電荷や不安定電荷を取り除く工程と、静電気発生手段にてマイナスイオンを発生させエレクトレット材料表面をマイナス電位とする工程と、エレクトレット材料をガラス転移点以下の所定温度範囲で加熱する工程を含むエレクトレット素子の作製方法。

Claim (excerpt)：

エレクトレット素子の作製方法において、エレクトレット材料を帯電する前工程としてプラスイオンおよびマイナスイオンを発生させる静電気発生手段を用いて当該イオンを発生させるとともに、当該エレクトレット材料の表面に照射する第1工程と、当該イオン照射後のエレクトレット材料を加熱しながらコロナ放電を実行して当該エレクトレット材料の表面を帯電させる第2工程と、前記コロナ放電による帯電の際に当該エレクトレット材料を水平方向に移動させる第3工程と、前記静電気発生手段にてプラスイオンおよびマイナスイオンを当該エレクトレット材料に照射して当該エレクトレット材料表面の前記第2工程および第3工程で照射された過剰電荷または不安定な電荷を取り除いて表面を中和状態にする第4工程と、前記静電気発生手段にてマイナスイオンを当該エレクトレット材料に照射して当該エレクトレット材料表面を中和状態からマイナス電位に帯電させる第5工程と、当該マイナス帯電状態にあるエレクトレット材料をガラス転移点以下の所定温度範囲で加熱する第6工程を含む、ことを特徴とするエレクトレット素子作製方法。

IPC (2)：

H01G 7/02 ,  C08J 7/00 303

FI (2)：

H01G 7/02 E ,  C08J 7/00 303