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J-GLOBAL ID：200903096604454428

高速原子線源

Inventor： 畠山 雅規
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991261231
Publication number (International publication number)：1993121194
Application date： Sep. 12, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高い割合でイオンの中性化を行い、且つ指向性を高く、効率よく高速原子線を放出する小型の高速原子線源を提供する。【構成】 多数の原子放出孔7を有する板状陰極21と、対向する板状陽極22間に、ガスを導入し、直流高圧電源3により放電させプラズマ6を形成する。そのプラズマ6により生じるイオンは、陰極に向かって加速され、原子放出孔7の直径に対して比較的長い原子放出孔7中及びその近傍で中性化することにより、高い中性化率の高速原子線8を放出する。

Claim (excerpt)：

多数の原子放出孔を有する板状陰極と、前記板状陰極に対向して設置された板状陽極と、前記板状陰極に負電位、前記板状陽極に正電位を与えて、前記板状陰極と板状陽極間に放電を起こすガスを導入するガス導入部とから構成されることを特徴とする高速原子線源。

IPC (3)：

H05H 3/02 ,  G21K 1/00 ,  H01J 27/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-161699
  
• 特開平3-112100
  
• 特開平3-030297