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J-GLOBAL ID：200903096610150392

ライトバルブのレジストレーション調節装置及び方法

Inventor： 草野 正明 ,  黒川 洋之
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997325225
Publication number (International publication number)：1999142993
Application date： Nov. 11, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】 精度良く微小量の調節を行うとともに迅速に調節を行う。【解決手段】 ライトバルブ8は、取り付け部材20を介して取り付け部材30と一体化される。部材30は、基体部材50により、ライトバルブ8が形成する平面と平行な所定平面内において二次元的に変位可能に保持される。各粗動調節部材は、それぞれ第1の中心軸回りに回転可能に基体部材50に取り付けられる。各カム部材71,81,91は、第1の中心軸に対して平行でかつ偏心した第2の中心軸回りに回転可能に、各粗動調節部材に取り付けられる。各カム部材71,81,91のカム面は取り付け部材30の端面に当接する。微動調節ネジ75,85,95は、各カム部材71,81,91の回転位置を調節する。

Claim (excerpt)：

ライトバルブを取り付けて一体化した取り付け部材を変位させて、前記ライトバルブのレジストレーション調節を行うレジストレーション調節装置において、前記取り付け部材を前記ライトバルブが形成する平面と平行な所定平面内で二次元的に粗動変位させる粗動変位機構と、前記取り付け部材を前記所定平面内で二次元的に微動変位させる微動変位機構と、を備えたことを特徴とするレジストレーション調節装置。

IPC (3)：

G03B 33/12 ,  G02F 1/13 505 ,  G03B 21/00

FI (3)：

G03B 33/12 ,  G02F 1/13 505 ,  G03B 21/00 D