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J-GLOBAL ID：200903096651893944

AlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法

Inventor： 池田 貢基 ,  久本 淳 ,  和田 浩司
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 植木 久一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994282314
Publication number (International publication number)：1996144088
Application date： Nov. 16, 1994
Publication date： Jun. 04, 1996
Summary：

【要約】【目的】 CVD装置,PVD装置,ドライエッチング装置などに用いられるAlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法であって、真空チャンバ内に導入される腐食性のガスやプラズマに対して優れた耐食性を発揮するAlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法を提供する。【構成】 AlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面に陽極酸化処理を行うにあたって、陽極酸化の初期電圧より陽極酸化の終期電圧を高くする。尚、上記終期電圧を初期電圧より高くするにあたっては、陽極酸化電圧を全工程の任意の区間で連続的または非連続的に変化させてもよく、或いは陽極酸化電圧を任意の区間で一定に保つ方法を採用してもよい。

Claim (excerpt)：

AlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面に陽極酸化処理を行うにあたって、陽極酸化の初期電圧より陽極酸化の終期電圧を高くすることを特徴とするAlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法。

IPC (4)：

C25D 11/04 101 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/44 ,  C23F 4/00