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J-GLOBAL ID：200903096684707461
光走査光学系
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995093551
Publication number (International publication number)：1996286217
Application date： Apr. 19, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：
【要約】【目的】特別な光学系を使用することなく、被検査物体での周辺光量の低下の発生を防止すること。【構成】被検査物体の光学的特性を測定するのに用いられる光走査光学系において、レ-ザ光を出力するレ-ザ光源と、高周波の印加により発生する超音波の作用によって、レ-ザ光源からのレ-ザ光を偏向して射出する音響光学偏向器と、音響光学偏向器からの射出光を被検査物体の表面に集光する集光光学系と、被検査物体からの反射光あるいは透過光を受光する受光光学系と、受光光学系により受光された光の強度を電気信号に変換して出力する受光素子と、受光光学系を通過した光束の端縁部における光量の低下に応じて、音響光学偏向器からの射出光の強度および方向を制御する制御手段とを備えて成る。
Claim (excerpt)：
被検査物体の光学的特性を測定するのに用いられる光走査光学系において、レ-ザ光を出力するレ-ザ光源と、高周波の印加により発生する超音波の作用によって、前記レ-ザ光源からのレ-ザ光を偏向して射出する音響光学偏向器と、前記音響光学偏向器からの射出光を前記被検査物体の表面に集光する集光光学系と、前記被検査物体からの反射光あるいは透過光を受光する受光光学系と、前記受光光学系により受光された光の強度を電気信号に変換して出力する受光素子と、前記受光光学系を通過した光束の端縁部における光量の低下に応じて、前記音響光学偏向器からの射出光の強度および方向を制御する制御手段と、を備えて成ることを特徴とする光走査光学系。
IPC (2)：
FI (2)：
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