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J-GLOBAL ID：200903096706395175
自動調光式表面性状測定装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中島 淳 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993288975
Publication number (International publication number)：1995139930
Application date： Nov. 18, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：
【要約】【目的】 被測定面からの反射光の光量を自動的に調整する。【構成】 自動調光式表面性状測定装置10は、電圧変換回路52から出力される電圧によって点灯し、スリット光線を塗装された被測定面28Aへ射出し、この反射光が2次元CCDセンサ30へ結像される。電圧変換回路には、発振部46で発振された周期のノコギリ波がランプ波発生回路50から供給されると共に、2次元CCDセンサに結像された光量に応じた信号がLPF回路44によって平滑化されて供給される。電圧変換回路では、反射光の光量が多いためにLPF回路から低いレベルの信号が供給されるとパルス幅を狭めた電圧を出力しランプを点滅させる。これによって、ランプの点灯時間を短くして、反射光の光量を抑えている。
Claim (excerpt)：
多数条のスリット光を被測定面へ向けて照射する光源部と、前記被測定面からの反射光が結像される位置に配設され結像された反射光に応じた信号を出力する受光部と、前記受光部の出力信号から前記被測定面の表面性状を計測して表示出力する計測表示部と、前記受光部の出力信号から受光部に結像された反射光の平均光量を出力する光量レベル出力部と、前記光量レベル出力部の前記平均光量に基づいて前記光源部の光源から射出される光量を変化させて前記被測定面の照度の過不足を補う光源制御手段と、を有することを特徴とする自動調光式表面性状測定装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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