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J-GLOBAL ID：200903096710280463

スイッチング素子、スイッチング素子の製造方法、およびスイッチング素子を用いた表示装置

Inventor： 山口 道也
Applicant, Patent owner： カシオ計算機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995269375
Publication number (International publication number)：1997092909
Application date： Sep. 21, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】 特性のバラツキが少なく、安定したスイッチング動作が行えるとともに、低コストで製造することができ、リーク電流の少ないスイッチング素子およびそれを用いた表示装置を提供するようにする。【解決手段】 スイッチング素子21は、アースライン25と画素電極28の2つの電極間に中空部30を設け、可撓性のあるITO膜の画素電極28上に窒化膜のオーバーコート膜29を形成して、その画素電極28とオーバーコート膜29とが電極クロム27により片持支持されている。ゲートメタル23にオン電圧が印加されると、画素電極28上のオーバーコート膜29の表面に静電誘導によってゲートメタル23の電荷と逆極性の電荷が誘起され、電荷間のクーロン引力によりオーバーコート膜29がゲートメタル23側に引き寄せられて電極同士が接触してオンし、ゲートメタル23にオフ電圧が印加されると、電極同士が離反してオフ動作する。

Claim (excerpt)：

中空部を介して少なくとも一部が重なり合う2つの電極を対峙配置し、該2つの電極の何れか一方を撓ませて電極同士が接触・離反するように一方の電極を片持支持した第1および第2の電極部と、前記第1および第2の電極部の何れか一方を撓ませて電極同士を接触・離反させる電極駆動用の第3の電極部と、を備え、前記第3の電極部が前記第1の電極部または第2の電極部を機械的に駆動してスイッチングさせることを特徴とするスイッチング素子。

IPC (4)：

H01L 49/02 ,  G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 338 ,  G09G 3/36

FI (4)：

H01L 49/02 ,  G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 338 K ,  G09G 3/36