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J-GLOBAL ID：200903096714897171

反射型電気光学装置、電子機器、および反射型電気光学装置の製造方法

Inventor： 菊地 哲慈
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 上柳 雅誉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001392896
Publication number (International publication number)：2003195285
Application date： Dec. 25, 2001
Publication date： Jul. 09, 2003
Summary：

【要約】【課題】 感光性樹脂に対する露光、現像を1回、行うだけで光反射膜の表面になだらかな表面形状を備えた光散乱用の凹凸パターンを付与することにより、生産効率を向上することのできる反射型電気光学装置、それを備えた電子機器、および反射型電気光学装置の製造方法を提供すること。【解決手段】 反射型電気光学装置100のTFTアレイ基板10において、光反射膜8aの下層側には、凹凸パターン8gを形成する凹凸形成層13aが形成されている。凹凸形成層13aは、感光性樹脂に対する露光マスクを介してのハーフ露光、現像、および加熱を行うことにより形成したものであり、なだらかな膜厚変化に対応する凹凸を表面に備えている。このため、光反射膜8aの表面には、凹凸形成層13aの凹凸形状に対応した光散乱用の凹凸パターン8gを付与することができる。

Claim (excerpt)：

電気光学物質を保持する基板上に、少なくとも、光反射膜が積層された反射型電気光学装置において、前記光反射膜の下層側には、なだらかな膜厚変化に対応する凹凸を表面に備えた感光性樹脂からなる凹凸形成層が形成され、前記光反射膜の表面には、前記凹凸形成層の凹凸に対応する光散乱用の凹凸パターンが付与されていることを特徴とする反射型電気光学装置。

IPC (4)：

G02F 1/1335 520 ,  G09F 9/00 342 ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/35

FI (4)：

G02F 1/1335 520 ,  G09F 9/00 342 Z ,  G09F 9/30 338 ,  G09F 9/35

F-Term (40)：

2H091FA02Y ,  2H091FA08X ,  2H091FA08Z ,  2H091FA14Z ,  2H091FA16Z ,  2H091FA35Y ,  2H091FA41Z ,  2H091FB04 ,  2H091FC22 ,  2H091FC27 ,  2H091FD06 ,  2H091GA01 ,  2H091GA02 ,  2H091GA06 ,  2H091GA13 ,  2H091HA07 ,  2H091HA10 ,  2H091LA12 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA06 ,  5C094EA07 ,  5C094ED11 ,  5C094FA04 ,  5C094HA08 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435BB16 ,  5G435CC09 ,  5G435FF03 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435LL07 ,  5G435LL08