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J-GLOBAL ID：200903096740624213
振動子の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997009906
Publication number (International publication number)：1998209785
Application date： Jan. 23, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：
【要約】【課題】 本発明は携帯電話等に用いられる振動子の製造方法に関し、非常に小さな振動子であっても、効率よく振動子を取り扱うことのできる製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 保持部14をブレークするまでの各工程をウエハ単位で処理するとともに、保持部14をブレークして個片毎に振動部2をパッケージにマウントして振動子を製造するため、生産性の高い製造方法が実現できる。
Claim (excerpt)：
水晶板からなるウエハを研磨する工程と、前記ウエハに保持部を残して溝をつくることにより複数の同一形状の振動部を形成するブラスト工程と、前記ウエハに発生した変質層を除去するためのエッチング工程と、前記各振動部の両面に励振用電極及び引出し用電極を蒸着形成するための第1の蒸着工程と、前記各電極の蒸着膜を安定化するためのアニール工程と、前記各振動部の周波数を調整するための蒸着を行う第2の蒸着工程とを備え、上記各工程をウエハ単位で処理するとともに、前記保持部をブレークして個片毎に振動部をパッケージにマウントして振動子を製造することを特徴とする振動子の製造方法。
IPC (2)：
FI (3)：
H03H 3/02 B
, H03H 3/02 C
, H03H 9/19 A
