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J-GLOBAL ID：200903096771712080

走査型トンネル顕微鏡およびその測定方法

Inventor： 山本 光
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992357119
Publication number (International publication number)：1994194115
Application date： Dec. 22, 1992
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡において、試料表面の凹凸程度に応じた適切な走査速度で探針を走査させ、衝突を避けると共に高精度な測定を可能にする。【構成】 試料に接近して配置される探針1と、探針を試料2に対し前進または後退させる移動手段5 と、探針と試料の間にトンネル電流を生じさせるための電圧を印加する電圧印加手段6と、トンネル電流を測定する測定手段7,8 と、トンネル電流を一定に保持するため探針と試料の間の距離を制御する制御手段9と、探針に試料の表面を走査させる走査手段(3,4,10,15) と、探針を用いて得られた試料表面の測定データを記録・処理するデータ記憶・処理手段(11,12) を備えるものであって、測定しようとする領域でのライン状走査で得たデータに基づき試料表面の凹凸程度を推定する凹凸程度推定手段(21,22) と、推定された凹凸程度に基づき適切な走査速度を設定する走査速度設定手段(23,24) を有する。

Claim (excerpt)：

試料に接近して配置される探針と、前記探針を前記試料に対し前進または後退させる移動手段と、前記探針と前記試料の間にトンネル電流を生じさせるための電圧を印加する電圧印加手段と、前記トンネル電流を測定する測定手段と、前記トンネル電流を一定に保持するため前記探針と前記試料の間の距離を制御する制御手段と、前記探針に前記試料の表面を走査させる走査手段と、前記探針を用いて得られた試料表面の測定データを記録・処理するデータ記録・処理手段を備える走査型トンネル顕微鏡において、測定しようとする領域でのライン状走査で得たデータに基づき試料表面の凹凸程度を推定する凹凸程度推定手段と、前記凹凸程度に基づき適切な走査速度を設定する走査速度設定手段を有することを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28