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J-GLOBAL ID：200903096781465731

光学的検査方法及び光学的検査装置

Inventor： 内川 清
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 渡部 温
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997061763
Publication number (International publication number)：1998246697
Application date： Mar. 03, 1997
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 物体内に光吸収係数の大きな領域が存在する場合でも、その光吸収の強い領域とその下部構造を正確に可視化しうる光学的検査装置を提供する。【解決手段】 光学的検査装置1は、異なる中心波長を有する検査光を、被検物体12内に分布する複数の場所に走査させながら共軸に入射する手段を有する。検査光4は、半透鏡7で位相特性を保持したまま分割され、光路長可変の参照光光路21を通過する。被検物体12からの後方散乱光27を、参照光20と干渉させて干渉光を形成し、被検物体12の各場所についての干渉光の信号を処理し画像表示する。

Claim (excerpt)：

空間的に不均一に分布する光吸収特性及び/又は光散乱特性を有する被検物体に対して検査光を照射し、該被検物体からの後方散乱光を測定して該被検物体内における光吸収特性及び/又は光散乱特性についての情報を得る光学的検査方法であって;異なる中心波長を有し、かつ自己可干渉距離が被検物体の空間的広がりより短い複数の検査光を被検物体に入射するとともに、該検査光を、被検物体手前で、位相特性を保持したまま分割して別途設定した光路長可変の参照光光路を通過させ、被検物体から後方に反射される異なる中心波長を有する複数の後方散乱光を、上記参照光光路を通過した光(参照光)と干渉させて干渉光を形成し、該干渉光を上記光路長を変化させながら検出し、各光路長についての該複数の後方散乱光と参照光の干渉光の相対的関係を算出することを特徴とする光学的検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/49 ,  A61B 10/00 ,  G01N 21/45

FI (4)：

G01N 21/49 Z ,  G01N 21/49 ,  A61B 10/00 E ,  G01N 21/45 A