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J-GLOBAL ID:200903096782404973

めっき浴分析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 千田 稔 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001338125
Publication number (International publication number):2002195983
Application date: Nov. 02, 2001
Publication date: Jul. 10, 2002
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】迅速であり、広範囲な組成物濃度範囲に亘り作用し、リアルタイムに遂行されることができる電解めっき浴内のレベラー量を測定する方法の提供。【解決手段】サイクリックボルタンメトリーストリッピング及びサイクリックパルスボルタンメトリーストリッピングにより、電解めっき浴内のブライトナー及びレベラー双方の量を測定する方法。
Claim (excerpt):
a)サイクリックボルタンメトリーストリッピング及びサイクリックパルスボルタンメトリーストリッピングから選択される方法によりブライトナーの量を測定し;b)各浴が、既知量且つ異なる量の該ブライトナー及びレベラーを有し、各浴のそれぞれの量は他の浴内の量とは異なる複数のめっき浴を得て;c)各浴について、該浴内に浸漬された対電極、洗浄された作用電極及び基準電極を提供し、以下の工程の所定のシークエンスを実行し、:1.ある時間の間、定電位で作用電極の表面を洗浄し、酸化し;2.エネルギー出力の時間による変化が最小となるまでの時間エネルギーの入力なしで平衡化すること、および定電位において設定された時間平衡化すること、から選択される工程に従い該作用電極を平衡化し、ブライトナーを吸着させ;3.初期めっきエネルギー出力を測定するに十分な時間、エネルギー入力により該作用電極上に金属イオンをめっきし;4.任意に、エネルギー出力の時間による変化を測定するに十分な時間、金属イオンをめっきすることを継続し;及び5.工程3及び4においてめっきされた金属イオンを除去するに十分な電位及び時間で、ストリッピングする;d)各浴について、工程3及び4で得られたエネルギー出力値とレベラー量を相関させ;e)未知量のブライトナー及びレベラーを有するめっき浴を得て、該浴に該電極を置き、前記の所定のシークエンスを実行し、;f)工程d)における相関関係から、工程a)で測定されたブライトナーの量を実質的に含む浴に関する特定の相関関係を選択し;及びg)工程f)での特定の相関関係から、未知量のブライトナー及びレベラーを有する該浴について記録された該エネルギー出力に相当するレベラー量を選択する工程を含む、電解めっき浴内のブライトナー及びレベラー双方の量を測定する方法。
IPC (3):
G01N 27/48 311 ,  G01N 27/48 301 ,  C25D 21/12
FI (3):
G01N 27/48 311 ,  G01N 27/48 301 ,  C25D 21/12 C

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