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J-GLOBAL ID：200903096802752930

プラズマ監視装置

Inventor： 篠原 己拔 ,  梅沢 九十
Applicant, Patent owner： 日本高周波株式会社
Agent (1)： 菅 直人 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992275357
Publication number (International publication number)：1994104095
Application date： Sep. 18, 1992
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 反応性ガスプラズマのパラメータである電子密度を非接触で直接監視する場合、広い電子密度の範囲にわたって精度良く安定して測定することが可能なプラズマ監視装置を提供する。【構成】 異なる周波数の電磁波信号を交互に切り換えてプラズマに放射する手段、それらの信号がプラズマ中通過する際に生ずる位相遅れを測定する手段、その位相遅れの差からプラズマの電子密度を計算する手段を備えるプラズマ監視装置である。

Claim (excerpt)：

異なる周波数の電磁波信号を交互に切り換えてプラズマに放射する手段、それらの信号がプラズマを通過した後の位相遅れを測定する手段、位相遅れの差からプラズマの電子密度を計算する手段を有するプラズマ監視装置。