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J-GLOBAL ID：200903096869823700
走査形荷電粒子顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
平木 道人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992282208
Publication number (International publication number)：1994111748
Application date： Sep. 29, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 走査像として表された観察部分の形状を、簡単かつ正確に判断できるようにする。【構成】 電子ビーム1の走査によって試料5表面から発生した二次電子12は二次電子検出器13で検出され、増幅器14で増幅された後に電子ビーム1と同期して走査される走査像表示装置16の輝度変調信号として入力され、画面上に走査像として表示される。立体像発生器19は、観察部分の形状に応じた模擬立体像を発生する。立体像姿勢制御部17は、立体像発生器19から出力された模擬立体像の姿勢が走査像の姿勢と相対的に一致するように、試料ステージ10の状態を判断して模擬立体像の姿勢を制御する。姿勢制御された模擬立体像は立体像表示装置18に表示される。
Claim (excerpt)：
集束された荷電粒子線を試料上で走査し、試料から二次的に発生する信号に基づいて走査像を表示する走査形荷電粒子顕微鏡において、移動機構、傾斜機構等を備え、試料を自在に変位させる試料ステージと、観察部分の形状に応じた模擬立体像を発生する手段と、走査像と模擬立体像との姿勢が相対的に一致するように、試料ステージによる試料の変位に応答して前記模擬立体像の姿勢を制御する手段と、姿勢制御された模擬立体像を表示する手段とを具備したことを特徴とする走査形荷電粒子顕微鏡。
IPC (2)：
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