Pat
J-GLOBAL ID：200903096898575228
XYステージ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三品 岩男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991197908
Publication number (International publication number)：1993040229
Application date： Aug. 07, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】上下に振動しない、試料面の傾斜が一定なXYステージを提供する。【構成】試料台と、ベースと、前記試料台をXY方向に駆動するための送り機構と、試料台の荷重を支える支持機構とを有するXYステージにおいて、前記送り機構と、前記支持機構とは、互いに独立の機構とする。
Claim (excerpt)：
試料台と、前記試料台を搭載するベースと、前記ベース上で前記試料台を支える支持機構と、前記ベース上で前記試料台をXY方向に駆動する送り機構とを有するXYステージにおいて、前記支持機構は、前記試料台の荷重を前記送り機構を介さずに支持することを特徴とするXYステージ。
IPC (3)：
G02B 21/26
, B25J 9/02
, F16H 21/04
