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J-GLOBAL ID:200903096931481030
ガス濃度計測方法およびガス濃度計測装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
伊藤 求馬
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999261629
Publication number (International publication number):2001083086
Application date: Sep. 16, 1999
Publication date: Mar. 30, 2001
Summary:
【要約】【課題】 暖機運転や基準ガスによる校正をすることなく即座に高精度な赤外線吸収式のガス濃度計測を可能とすることである。【解決手段】 試料ガスが導入され光源41から赤外線が照射される計測セル11Aにより得られる検出赤外線量と試料ガスが導入され赤外線非照射の計測セル11Bにより得られる検出赤外線量との差をとり各部からの輻射成分を含まない試料ガスを透過した赤外線の成分を得るとともに、比較ガスが導入され光源42から赤外線が照射される補償セル12Aにより得られる検出赤外線量と比較ガスが導入され赤外線非照射の補償セル12Bにより得られる検出赤外線量との差をとり透過窓21A,22Aの吸収特性を示す赤外線の成分を得、両赤外線成分からガス濃度を求めることで、ガスや装置各部の温度の影響を回避する。
Claim (excerpt):
計測セルに試料ガスを導入するとともに補償セルに所定の比較ガスを導入し、これら導入ガスの異なる2種類のセル内に光源から赤外線を照射し、各セルの出射側の透過窓の後方に配置した検出器により透過窓から出射した赤外線量を検出し、両セルの検出赤外線量から試料ガス中の検出しようとする成分ガスの濃度を計測するガス濃度計測方法において、光源からの照射赤外線量が大なる状態で計測セルにおける検出赤外線量を得る第1の検出手順と、光源からの照射赤外線量が小なる状態で計測セルにおける検出赤外線量を得る第2の検出手順とを行い、光源からの照射赤外線量が大なる状態で補償セルにおける検出赤外線量を得る第3の検出手順と、光源からの照射赤外線量が小なる状態で補償セルにおける検出赤外線量を得る第4の検出手順とを行い、次いで第1の検出手順の検出赤外線量と第2の検出手順の検出赤外線量との差および第3の検出手順の検出赤外線量と第4の検出手順の検出赤外線量との差をとり、計測セルと補償セルとのそれぞれについて光源からの赤外線の透過成分のみを得、次いで、両透過成分に基づいて上記成分ガスの濃度を算出することを特徴とするガス濃度計測方法。
IPC (2):
FI (2):
G01N 21/61
, G01N 21/35 Z
F-Term (10):
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059FF08
, 2G059HH01
, 2G059JJ02
, 2G059KK03
, 2G059MM01
, 2G059MM14
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