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J-GLOBAL ID：200903096933193139

位相シフトレチクル検査装置

Inventor： 児玉 賢一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991170271
Publication number (International publication number)：1993019450
Application date： Jul. 11, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 位相シフトレチクルの位相部材の位相変化量の所定値からのずれ量と、吸収体パターン及び位相部材パターンの微小欠陥との双方を単純な構成でかつ効率的に検査を行えるようにする。【構成】 位相シフトレチクル5の位相部材の位相変化量の所定値からのずれ量検査装置2と、吸収体パターン及び位相部材パターンの微小欠陥検査装置3とを隣接して設けて、X-Yステージを移動させて位相シフトレチクルをずれ量の検査装置2と微小欠陥検査装置3とに選択的に搬送して検査する。

Claim (excerpt)：

位相シフトレチクルの位相部材の位相変化量の所定値からのずれ量と、吸収体パターン及び位相部材パターンの微小欠陥とを検査する装置において、前記位相部材の位相変化量の所定値からのずれ量の検査装置と、前記ずれ量の検査装置に隣接して設けられた前記吸収体パターン及び前記位相部材パターンの微小欠陥検査装置と、位相シフトレチクルを前記ずれ量の検査装置と前記微小欠陥検査装置とに選択的に搬送する搬送装置と、を有することを特徴とする位相シフトレチクル検査装置。

IPC (4)：

G03F 1/08 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/66