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J-GLOBAL ID：200903096935731073

シリコンウエハプラズマ処理用ガラス状カーボン部材の製造方法

Inventor： 市島 雅彦 ,  笠原 雅寿 ,  外谷 栄一 ,  佐々木 泰実 ,  伊藤 和男 ,  目黒 和教
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社
Agent (1)： 田辺 徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997038587
Publication number (International publication number)：1997188566
Application date： Apr. 02, 1990
Publication date： Jul. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 プラズマの安定性がよく、耐用性にすぐれたシリコンウエハプラズマ処理用ガラス状カーボン部材の製造方法を提供する。【解決手段】 熱硬化性樹脂に有機スルホン酸を少量づつ添加して重合させる工程を繰り返すことで、前記有機スルホン酸を混合して1000〜4000センチポイズの粘性を有する流動体ポリマーを形成し、脱泡処理後、所望形状に成形し、硬化後、焼成、純化処理を順次行うことを特徴とするシリコンウエハプラズマ処理用ガラス状カーボン部材の製造方法。

Claim (excerpt)：

液状熱硬化性樹脂に有機スルホン酸を少量づつ添加して重合させる工程を繰り返すことで、前記有機スルホン酸を混合して1000〜4000センチポイズの粘性を有する流動体ポリマーを形成し、脱泡処理後、所望形状に成形し、硬化後、焼成、純化処理を順次行うことを特徴とするシリコンウエハプラズマ処理用ガラス状カーボン部材の製造方法。

IPC (3)：

C04B 35/52 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

C04B 35/52 A ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 C